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凈化棚氣流的重要性
凈化棚的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
影響凈化棚因素:
影響潔凈工作棚的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點，亦應(yīng)列入考慮因素。
一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至鳎藭r大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。
潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。
風(fēng)機從FFU頂部將空氣吸入，經(jīng)初效過濾器，高效過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速勻速送出到潔凈棚內(nèi)。形成均流層，使?jié)崈艨諝鈿饬鞒蚀怪眴蜗蛄鳎瑥亩ＷC了工作區(qū)內(nèi)所要求的潔凈度。
凈化棚是能快速組建的簡易潔凈室,其具有安裝快速、施工周期短、價格低廉、移動方便等特點，把主要生產(chǎn)工序控制在較小的環(huán)境內(nèi)也是潔凈室設(shè)計的選擇。
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